[28p-B2-1~13] 7.3 リソグラフィ

[28p-B2-11] 極微パタン構造計測のためのコヒーレント13nm高次高調波光源の開発V (4:15 PM ～ 4:30 PM)

^○永田豊^1,2,3，原田哲男^2,3，中筋正人²，木下博雄^1,2,3，緑川克美¹ (理研 基幹研¹，兵庫県立大²，JST CREST³)

キーワード：EUVリソグラフィ、コヒーレントEUV光、高次高調波