[28p-B2-1~13] 7.3 リソグラフィ

[28p-B2-12] 高次高調波を用いたコヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるパタン欠陥の観察 (4:30 PM ～ 4:45 PM)

^○中筋正人^1,3，九鬼真輝^1,3，原田哲男^1,3，永田豊^2,3，渡邊健夫^1,3，緑川克美²，木下博雄^1,3 (兵庫県立大¹，理化学研究所²，JST-CREST³)

キーワード：EUV、CSM、HHG-CSM