[28p-B2-1~13] 7.3 リソグラフィ

[28p-B2-5] 光リソグラフィによるブレーズド回折格子製作技術の開発 (2:30 PM ～ 2:45 PM)

^○角田和之¹，杉大作¹，松井繁²，江畠佳定²，渡邉哲也²，長谷川昇雄² (日立製作所ＭＤ事¹，日立ハイテク²)

キーワード：リソグラフィー、メムス、回折格子