[28p-B8-1~12] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[28p-B8-10] 自己組織テンプレートとメタルアシストエッチング法を用いた規則配列Siナノワイヤ形成と評価 (5:00 PM ～ 5:15 PM)

^○（M1）山口卓也，清水智弘，夛田芳広，新宮原正三 (関西大)

キーワード：メタルアシストエッチング、metal assisted、ナノワイヤ