[28p-C1-1~20] 4.2 フォトニックナノ構造・現象

[28p-C1-7] フェムト秒レーザー直接描画及び原子層堆積法による3次元金属フォトニック結晶の作製 (3:00 PM ～ 3:15 PM)

^○常盤塁也¹，孫泉¹，上野貢生^1,2，三澤弘明¹ (北大電子研¹，JST-さきがけ²)

キーワード：3次元金属フォトニック結晶、フェムト秒レーザー、原子層堆積