[28p-F2-1~19] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[28p-F2-1] 同一基板上でa軸とc軸に配向性制御された高抵抗多結晶ZnO薄膜の作製 (2:00 PM ～ 2:15 PM)

^○羽賀浩一¹，大島直到¹，滝澤義浩¹，湯蓋邦夫²，宍戸統悦² (仙台高専¹，東北大金研²)

キーワード：配向性制御、酸化亜鉛薄膜、ａ軸配向