[28p-G19-1~17] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[28p-G19-15] 新対向ターゲット式スパッタ法によるTa₂O₅/ZnO:Inヘテロ構造膜の作製と高感度pHセンサーへの応用 (5:45 PM ～ 6:00 PM)

^○（M1）向井和哉¹，大仲崇之¹，小池一歩¹，前元利彦¹，佐々誠彦¹，矢野満明¹，門倉貞夫²，中光豊² (大阪工大ナノ材研センタ¹，FTS²)

キーワード：ZnO、スパッタ法、ISFET