[28p-G2-1~16] 13.3 絶縁膜技術

[28p-G2-5] Post Metallization Annealingを用いたGeO₂絶縁膜改質による水溶性変化 (3:30 PM ～ 3:45 PM)

^○山口まりな，中谷友哉，岩崎好孝，上野智雄 (東京農工大・工)

キーワード：GeO_{2、Water Solubility、Post Metalization Annealing}