2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[28p-G21-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

2013年3月28日(木) 15:45 〜 19:00 G21 (B5号館 4F-2405)

[28p-G21-12] NH3-CIBを用いてMBE成長したAlN, GaN/Al2O3薄膜の格子定数 (6:45 PM ~ 7:00 PM)

斉藤博1,今井和明2,鈴木和彦2 (岡山理大理1,道工大工2)

キーワード:IIi-V族窒化物、アンモニアクラスターイオンビーム