[28p-G21-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[28p-G21-2] 絶縁膜/極薄InN/YSZ構造の作製と評価 (4:00 PM ～ 4:15 PM)

^○大久保佳奈¹，小林篤¹，太田実雄¹，尾嶋正治²，藤岡洋^1,3 (東大生研¹，東大院工²，JST-CREST³)

キーワード：InN、PSD、YSZ