[28p-G22-1~19] 15.6 IV族系化合物

[28p-G22-10] 電流検出ESRによるC面4H-SiC MOSFET界面欠陥の測定 (4:15 PM ～ 4:30 PM)

^○梅田享英¹，佐藤嘉洋¹，荒井亮¹，岡本光央²，原田信介²，小杉亮治²，奥村元²，牧野高紘³，大島武³ (筑波大数物¹，産総研²，原研³)

キーワード：炭化ケイ素、界面欠陥、電子スピン共鳴