PDF ダウンロード スケジュール 4 いいね! 0 [28p-G22-10] 電流検出ESRによるC面4H-SiC MOSFET界面欠陥の測定 (4:15 PM ~ 4:30 PM) ○梅田享英1,佐藤嘉洋1,荒井亮1,岡本光央2,原田信介2,小杉亮治2,奥村元2,牧野高紘3,大島武3 (筑波大数物1,産総研2,原研3) キーワード:炭化ケイ素、界面欠陥、電子スピン共鳴