[28p-G22-1~19] 15.6 IV族系化合物

[28p-G22-15] △反応性イオンエッチングを施した4H-SiC表面のμ-PCD法による評価 (5:30 PM ～ 5:45 PM)

^○森祐人，加藤正史，市村正也 (名工大)

キーワード：4H-SiC、μ-PCD法、反応性イオンエッチング