[28p-G22-1~19] 15.6 IV族系化合物

[28p-G22-18] △PLイメージングによるn型およびp型SiCの拡張欠陥評価 (6:15 PM ～ 6:30 PM)

^○河原知洋¹，須田淳²，木本恒暢² (京大工¹，京大院工²)

キーワード：SiC、拡張欠陥、PLイメージング