[28p-G22-1~19] 15.6 IV族系化合物

[28p-G22-4] △表面活性化ボンディングによるn-Si/n-4H-SiCヘテロ接合の作製及び評価 (2:30 PM ～ 2:45 PM)

^○梁剣波，宮崎達也，西田将太，森本雅史，重川直輝 (大阪市立大)

キーワード：表面活性化ボンディング、4H-SiC