[28p-G8-1~14] 13.2 半導体表面

[28p-G8-11] 微小空間におけるウェットエッチング挙動の考察 (3:45 PM ～ 4:00 PM)

^○奥山敦¹，齋藤卓¹，萩本賢哉²，岩元勇人² (ソニーセミコンダクタ¹，ソニー²)

キーワード：ウェットエッチング