[28p-PA1-1~34] 15.4 III-V族窒化物結晶

[28p-PA1-11] LP-MOVPE法で成長したSi添加AlGaN薄膜のカソードルミネッセンスマッピング評価 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○倉井聡¹，牛島史貴¹，穴井恒二¹，若松歩¹，三宅秀人²，平松和政²，山田陽一¹ (山口大院理工¹，三重大院工²)

キーワード：カソードルミネッセンス、AlGaN