[28p-PA1-1~34] 15.4 III-V族窒化物結晶

[28p-PA1-29] 炭素（C）ドープAlGaNのP型化のメカニズム (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○金度亨¹，李熙燮²，山住和也¹，西野克志^1,3，酒井士郎^1,3 (徳島大院　ATS¹，ソウルオプトデバイス²，徳島大院　STS³)

キーワード：XPS、P-AlGaN