[28p-PA2-1~4] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[28p-PA2-1] スパッタエピタキシー法を用いたGe薄膜形成におけるボロンドープSi基板の効果 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○塚本貴広¹，広瀬信光²，笠松章史²，三村高志²，松井敏明²，須田良幸¹ (東京農工大院工¹，情報通信研究機構²)

キーワード：ゲルマニウム