[28p-PA3-1~5] 15.8 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥

[28p-PA3-3] 2波長パルスレーザアニール（DPLA）によるGaN基板の低転位密度化の検討 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○藤枝真理子¹，石井崇正¹，櫻井岳暁¹，関口隆史²，秋本克洋¹ (筑波大¹，物材機構²)

キーワード：窒化ガリウム、転位