[28p-PB2-1~10] 14.1 探索的材料物性

[28p-PB2-5] Probe-EBIC法によるSi(111)基板上BaSi₂薄膜の接合・結晶粒評価 (4:00 PM ～ 6:00 PM)

^○（P）渡辺健太郎^1,2，馬場正和¹，関口隆史^1,2，山根久典³，末益崇¹ (筑波大¹，物材機構²，東北大金研³)

キーワード：EBIC、BaSi2