[28p-PB3-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[28p-PB3-12] アモルファス炭化ケイ素薄膜の硬質化メカニズム (4:00 PM ～ 6:00 PM)

^○伊藤治彦¹，大柿猛¹，赤坂大樹^1,2，斎藤秀俊¹ (長岡技科大（工）¹，東工大（工）²)

キーワード：アモルファス炭化ケイ素