2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

06.薄膜・表面 » 6.5 表面物理・真空

[28p-PB4-1~15] 6.5 表面物理・真空

2013年3月28日(木) 16:00 〜 18:00 PB4 (第二体育館)

[28p-PB4-9] Si(001)表面上に成長した鉄シリサイドのSTM/STS 測定 (4:00 PM ~ 6:00 PM)

○(M1)成重卓真1,鷺坂恵介2,藤田大介2,大野真也1,田中正俊1 (横浜国大院工1,物質・材料研究機構2)

キーワード:シリコン表面、鉄シリサイド、STM