[29a-A3-1~7] 16.2 プロセス技術・デバイス

[29a-A3-3] Ge:Sb/a-Si ポテンシャル障壁構造での赤外センサ用電気特性 (10:45 AM ～ 11:00 AM)

五十川貴之，^○中村優平，山田雄太，木下潤一，古川昭雄 (東理大理工)

キーワード：赤外線センサ、ボロメータ、寄生抵抗