[29a-A3-1~7] 16.2 プロセス技術・デバイス

[29a-A3-5] 近赤外半導体レーザ光照射による中空構造a-Si膜の局所転写同時結晶化 (11:15 AM ～ 11:30 AM)

^○酒池耕平，小林義崇，中村将吾，林将平，赤澤宗樹，森崎誠司，東清一郎 (広大院先端研)

キーワード：薄膜トランジスタ、結晶化、転写