[29a-A3-1~7] 16.2 プロセス技術・デバイス

[29a-A3-7] アモルファス酸化物薄膜トランジスタにおける発熱シミュレーション (11:45 AM ～ 12:00 AM)

^○浦川哲¹，堀田昌宏^1,2，石河泰明^1,2，浦岡行治^1,2 (奈良先端大¹，CREST²)

キーワード：薄膜トランジスタ、酸化物半導体、デバイスシミュレーション