[29a-B2-1~8] 7.6 イオンビーム一般

[29a-B2-2] △RFバイアススパッタ法により生じる高エネルギー正イオン照射を利用した六方晶系薄膜の配向制御 (10:15 AM ～ 10:30 AM)

^○高柳真司¹，柳谷隆彦²，松川真美¹ (同志社大¹，名工大²)

キーワード：イオン照射、配向制御、酸化亜鉛