[29a-B2-1~8] 7.6 イオンビーム一般

[29a-B2-8] Siトレンチ構造への巨大フッ素クラスター衝突のMDシミュレーション (11:45 AM ～ 12:00 AM)

^○青木学聡，瀬木利夫，松尾二郎 (京大工)

キーワード：MD simulation、クラスター、エッチング