[29a-B5-1~11] 1.9 超音波

[29a-B5-7] ボールSAWセンサを用いた微量水分の高感度測定 (10:45 AM ～ 11:00 AM)

^○萩原啓¹，齋藤智広¹，三原亮祐¹，大泉透¹，竹田宣生¹，赤尾慎吾^1,2，大木恒郎²，柳沢恭行²，高柳浩介²，中曽教尊²，辻俊宏¹，塚原祐輔²，山中一司¹ (東北大¹，凸版印刷²)

キーワード：弾性表面波、水晶、水蒸気センサ