[29a-B6-1~10] 1.1 応用物理一般

[29a-B6-1] △第一原理計算を用いたペロブスカイト型酸化物砥粒におけるガラス研磨性能の検討と代替砥粒の理論的設計 (9:15 AM ～ 9:30 AM)

^○尾澤伸樹，中村美穂，河口健太郎，石川岳志，樋口祐次，久保百司 (東北大院工)

キーワード：化学機械研磨、第一原理計算