2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.5 プラズマナノテクノロジー

[29a-B7-1~12] 8.5 プラズマナノテクノロジー

2013年3月29日(金) 09:00 〜 12:15 B7 (K2号館 4F-1403)

[29a-B7-10] ▼低温カーボンナノチューブ成長の過程でアンモニア前処理の影響 (11:30 AM ~ 11:45 AM)

○(DC)Raman Bekarevich1,2,三浦彰太1,Aliaksandar Rahachou2,永津雅章1 (静大院1,ゴメル大2)

キーワード:carbon nanotubes、microwave excited plasma CVD、ammonia pretreatment