[29a-B9-1~12] 8.1 プラズマ生成･制御

[29a-B9-7] 低圧環境下における無磁場マイクロ波プラズマ生成と応用 (10:45 AM ～ 11:00 AM)

^○野田智紀¹，中坊将人¹，豊田浩孝^1,2 (名大工¹，名大プラナノセンター²)

キーワード：マイクロ波プラズマ、低圧環境下