[29a-B9-1~12] 8.1 プラズマ生成･制御

[29a-B9-9] △タンデム型ECRイオン源第2ステージにおけるプラズマパラメータ測定 (11:15 AM ～ 11:30 AM)

^○（M1）矢野慧介¹，野﨑大¹，栗栖庸輔¹，木村大樹¹，川島紀之²，熊倉翔²，佐藤文信¹，加藤裕史¹，飯田敏行¹ (阪大院工¹，阪大工²)

キーワード：ECR、イオン源