2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[29a-F2-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2013年3月29日(金) 10:00 〜 13:00 F2 (E3号館 3F-303)

[29a-F2-3] △酸素雰囲気熱処理によるTiO2チャネルTFT閾値電圧の大幅減少 (10:30 AM ~ 10:45 AM)

小池豪,矢嶋赳彬,西村知紀,長汐晃輔,鳥海明 (東大院工)

キーワード:TiO2、トランジスタ、薄膜