[29a-F2-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[29a-F2-3] △酸素雰囲気熱処理によるTiO₂チャネルTFT閾値電圧の大幅減少 (10:30 AM ～ 10:45 AM)

^○小池豪，矢嶋赳彬，西村知紀，長汐晃輔，鳥海明 (東大院工)

キーワード：TiO2、トランジスタ、薄膜