[29a-G10-1~11] 17.3 新機能探索・基礎物性評価

[29a-G10-2] △多層グラフェン/Ni触媒触媒積層配線の形成と特性評価 (9:15 AM ～ 9:30 AM)

^○石倉太志，和田真，磯林厚伸，西出大亮，松本貴士，伊東伴，山崎雄一，渡邉勝仁，佐久間尚志，梶田明広，酒井忠司 (超低電圧デバイス技術研究組合　（ＬＥＡＰ）)

キーワード：LSI配線、グラフェン、半導体デバイス