[29a-G10-1~11] 17.3 新機能探索・基礎物性評価

[29a-G10-4] マイクロ波プラズマCVD法で合成したグラフェン膜の電気伝導特性評価 (9:45 AM ～ 10:00 AM)

^○沖川侑揮^1,2，津川和夫²，山田貴壽^1,2，石原正統^1,2，長谷川雅考^1,2 (産総研¹，TASC²)

キーワード：プラズマCVD、van der Pauw、グラフェン