2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

17.ナノカーボン » 17.3 新機能探索・基礎物性評価

[29a-G10-1~11] 17.3 新機能探索・基礎物性評価

2013年3月29日(金) 09:00 〜 12:00 G10 (B5号館 2F-2204)

[29a-G10-9] レジストフリーコンタクト形成プロセスに基づくグラフェン/金属界面の理解 (11:15 AM ~ 11:30 AM)

長汐晃輔,井福亮太,森山喬史,西村知紀,鳥海明 (東大マテリアル)

キーワード:状態密度、コンタクト抵抗率