[29a-G12-1~11] 17.4 デバイス応用

[29a-G12-10] 300mmウェハ対応ナノカーボン合成プロセス開発（2） (11:30 AM ～ 11:45 AM)

^○西出大亮，松本貴士，伊東伴，山崎雄一，加賀谷宗仁，和田真，齋藤達朗，北村政幸，渡邉勝仁，佐久間尚志，梶田明広，酒井忠司 (LEAP)

キーワード：ナノカーボン