[29a-G12-1~11] 17.4 デバイス応用

[29a-G12-3] △導電性AFMによるCNT/SiC界面の接触抵抗評価 (9:30 AM ～ 9:45 AM)

^○渋谷恵¹，稲葉優文¹，大原一慶¹，落合拓海¹，増田佳穂²，平岩篤¹，楠美智子²，川原田洋¹ (早大¹，名大²)

キーワード：カーボンナノチューブ、シリコンカーバイド、接触抵抗