[29a-G19-1~10] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[29a-G19-6] GaドープZnO薄膜の表面近傍の化学状態評価 (11:30 AM ～ 11:45 AM)

^○牧野久雄，宋華平，山本哲也，小畠雅明，小林啓介 (高知工科大総研)

キーワード：透明導電膜、酸化亜鉛、光電子分光