[29a-G19-1~10] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[29a-G19-9] Fe添加省In組成ITOスパッタ薄膜の高赤外線透過性 (12:15 PM ～ 12:30 AM)

^○大塚誠^1,2，中村崇^1,2 (東北大　多元研¹，東北大　NICHe²)

キーワード：透明導電酸化物、ITO