[29a-G21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[29a-G21-4] AlGaN/GaN HEMT構造におけるマイクロクラックの発生と引張り歪みの相関 (9:45 AM ～ 10:00 AM)

^○小谷淳二，苫米地秀一，宮島豊生，中村哲一，吉川俊英，渡部慶二，今西健治 (富士通研)

キーワード：MOVPE、AlGaN/GaN、マイクロクラック