2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[29a-G21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2013年3月29日(金) 09:00 〜 12:00 G21 (B5号館 4F-2405)

[29a-G21-7] △SiドープAlNのMOVPE成長における転位密度の影響 (10:45 AM ~ 11:00 AM)

西尾剛,三宅秀人,平松和政 (三重大)

キーワード:MOVPE、AlN、Doping