[29a-G21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[29a-G21-9] 機能水によるサファイア基板表面の微粒子除去 (11:15 AM ～ 11:30 AM)

^○正岡融，森田博志 (栗田工業)

キーワード：機能水、表面洗浄