[29a-PB7-1~21] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[29a-PB7-16] 透過型電子顕微鏡を用いた傾斜組成InGaAs層の欠陥評価 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○佐々木拓生¹，西俊明¹，高橋正光²，小島信晃¹，大下祥雄¹，山口真史¹ (豊田工大¹，原子力機構²)

キーワード：InGaAs、転位、歪