[29p-B2-1~18] 7.6 イオンビーム一般

[29p-B2-7] Arガスクラスターイオンビーム二次イオン質量分析法によるポリエステル/メラミン塗膜の深さ方向分析 (3:00 PM ～ 3:15 PM)

^○西野宮卓¹，東新邦彦¹，井内健輔²，瀬直巳²，盛谷浩右²，持地広造² (新日鐵住金¹，兵庫県立大²)

キーワード：SIMS、ガスクラスターイオンビーム、塗膜