[29p-B8-1~10] シリコン系薄膜形成技術の新展開

[29p-B8-6] 低温高速スパッタエピタキシーによるSi系材料の厚膜化と太陽電池応用（30分） (4:15 PM ～ 4:45 PM)

^○葉文昌 (島根大)

キーワード：シリコン，ゲルマニウム，スパッタ，太陽電池，膜