[29p-F2-1~19] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[29p-F2-2] ハイブリッド対向スパッタを用いたITO透明導電膜の作製 (2:15 PM ～ 2:30 PM)

^○諸橋信一，碓井圭太，高木史博，原田直幸，村田卓也 (山口大工)

キーワード：ハイブリッド対向スパッタ、スパッタ、ITO