[29p-G16-1~21] 15.8 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥

[29p-G16-11] 微小欠陥による金属不純物のゲッタリングに関する第一原理解析 (4:15 PM ～ 4:30 PM)

^○前田貴弘¹，末岡浩治¹，泉妻宏治² (岡山県大院情報系工¹，グローバルウェーハズ²)

キーワード：第一原理、ゲッタリング、微小欠陥